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精密製造工廠電氣設備管理
大型芯(xīn)片生產製造廠房作為芯片生產的重要場所,保障(zhàng)廠房供配電係統(tǒng)安全穩(wěn)定運(yùn)行是最為重(chóng)要的(de)管理項目之一。因為整個工廠的能源動力都是通(tōng)過電力電網提供的,而東部沿海地區夏季經(jīng)常會遇到台風、雷暴(bào)等極端天氣(qì),會導(dǎo)致電網供電異常,一次短暫的(de)電壓暫降、暫升事(shì)件(jiàn)就可能導致工(gōng)廠的生(shēng)產暫停,短暫斷電會使曆時長月的(de)芯片製造毀於(yú)一(yī)旦,甚至設備損(sǔn)壞,給企業帶來(lái)巨大的經濟損失。因此成功的半導體芯片廠是通過縝密設計(jì),對關鍵生產設備的供電係統24小時不間(jiān)斷監測(cè),可應對未來趨勢的配(pèi)電基礎設施,確保可靠的電力供應。
芯片製造工藝極為複雜,芯(xīn)片中電路的(de)製作(zuò)需層層(céng)迭代、環(huán)環相扣,整個芯片加(jiā)工過程有上百道工序,任何一道工序的加工失誤均會導(dǎo)致整個芯片的報廢。斷電(diàn)或電壓驟降等供電問題都(dōu)能(néng)導致成批半(bàn)導體作(zuò)廢,斷電代價相當高昂。因此,芯片製造(zào)企業的供配電的電(diàn)能質量需達到較高的水平,通過更完善的電源管(guǎn)理,可以減少此類非預期的停工狀況,進而避免意料之外的製造成本。擁有可靠、具彈性(xìng)調度的電力,是避(bì)免電(diàn)源幹擾(rǎo)、降(jiàng)低成本、增進效率與產能的關鍵。
目前,國內供電部(bù)門由於(yú)缺(quē)乏對半導體芯片製造工廠內部生產情況缺乏了解,隻能按照一般的(de)標準提供供電(diàn)方案(àn),但半導體芯片製造工廠的供電電能質量要求較高,因(yīn)此企業內部負責管(guǎn)理工廠能源動(dòng)力的部門(mén),一般都會在現有供配電(diàn)和標準監測係統基礎上,再加裝第三(sān)方專業廠商提供在線電能質(zhì)量監控係統(tǒng)。隻有當半導體芯片工廠可以(yǐ)從本(běn)身的配電(diàn)網絡取得高可靠度、高品(pǐn)質、高可供性的電力時,才能更快速地應對千變萬(wàn)化的需求。
目前,半導體芯片製造企業均有成熟的供電係統方案,例如(rú)采用雙路電源供電,廠內自備應急電源(柴油發電機後備電源或者不斷電係統(tǒng)UPS)等降低供電問題影響(xiǎng)。半導體廠也可利用電力監視解決方案與(yǔ)電(diàn)力計量提升性能。除此(cǐ)之外(wài),專業(yè)全麵的電力監視可以提供(gòng)電力係統(tǒng)狀況、能源效率和電能(néng)質量管理的進一步信息,協助半導體芯(xīn)片廠做出改善性能的決策。設施(shī)的計量架構可以優化讀取設施各部分的(de)信息,例如,電力計(jì)量與監視解決(jué)方案可以針對(duì)目標,關注與半導體製造設備有關之能源當量(liàng)值(kWh)的消耗量,並(bìng)確認能源效率(lǜ)的改善;工廠能源動力(lì)管(guǎn)理部門可通過電能質量實時監測,在電力係統出現(xiàn)微小(xiǎo)電能質量事(shì)件或問題(tí),能提前發現,防患未然。
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